Bileşik hedeflerde yüklü parçacıkların menzil ve menzil momentlerinin hesabı / Önder Kabadayı; Danışman Hasan Gümüş.

Abstract

Bu çalışmada, Biersack (1982)'in PRAL açısal difüzyon modelinin düzeltilmiş biçimi olan Ashworth v.d. (1991) KRAL denklemleri temel alınarak, iyonların tek atomlu ve çok atomlu hedeflerdeki ortalama izdüşüm menzilleri ve menzil momentleri hesaplandı. Bu amaçla KRAL denklemleri nümerik çözüme uygun biçimde düzenlendi ve bağışlama diferansiyel denklemler takımı, Fehlberg Runge-Kutta metodu kullanılarak çözüldü. İyonların menzil ve menzil momentlerini hesaplayan bir program geliştirildi ve, Maple V-R3 programlama dilinde yazıldı. Durdurma güçleri ve diğer giriş nicelikleri için deneysel verilerle iyi uyum sağlayan analitik ifadeler kullanıldı. Elektronik durdurma gücü, Montenegro (1981) formülü kullanılarak hesaplandı. Bilgisayar programı, değişik iyon hedef kombinezonları için uygulanabilir. İyon ekimi uygulamalarında kullanılan Si ve SiO2 hedefleri için hesaplamalar yapıldı ve elde edilen neticeler, deneysel verilerle, Monte Carlo programı TRIM 97-V06 ve Pral 97 den elde edilen sonuçlarla karşılaştırıldı. İkinci derece menzil momentleri, boyuna dağılganlık ve enine dağılganlık için elde ettiğimiz sonuçların, PRAL 97 ve WS, Wang and Shi (1990) sonuçlarına göre, TRIM ve deneysel verilerle daha iyi uyuştuğu görüldü.